惰性氣體滅火系統(tǒng)包括二氧化碳、氮氣以及氬氣等多種惰性氣體。不過在消防滅火中常用的是二氧化碳氣體滅火系統(tǒng)。二氧化碳是以液態(tài)形式加壓充裝于二氧化碳氣體滅火系統(tǒng)中的。當其從滅火機中噴出時，突然減壓，一部分二氧化碳絕熱膨脹、汽化、吸收大量熱，使另一部分二氧化碳冷卻成固體雪花狀二氧化碳（干冰）。干冰溫度為-78.5℃。噴向著火處時，立即汽化。在吸熱的同時起到稀釋氧氣的作用。另外，大量二氧化碳氣籠罩在燃燒區(qū)周圍，還能起隔離燃燒物與空氣的作用。當二氧化碳含量達30%-35%時，火焰即可熄滅。

其它惰性氣體滅火劑滅火原理基本與二氧化碳氣體滅火系統(tǒng)原理相同。一方面，惰性氣體的加入可以降低燃燒氣體的溫度，起到冷卻的作用。另一方面，加入惰性氣體可使氧氣濃度降低，起到窒息的作用。